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VMT2010手動(dòng)影像測(cè)量?jī)x,行程200*100*160mm,玻璃臺(tái)尺寸245*145mm,工作臺(tái)尺寸355*250mm,外形尺寸530*630*880mm,XY軸測(cè)量精度(3.0+L*/200)微米,光柵尺分辨率1微米。

VMT3020手動(dòng)影像測(cè)量?jī)x,行程300*200*160mm,玻璃臺(tái)尺寸345*245mm,工作臺(tái)尺寸460*335mm,外形尺寸640*730*880mm,XY軸測(cè)量精度：(3.0+L*/200)微米,光柵尺分辨率1微米。